东营FH买球-FH中国厂第2～3代FH买球-FH中国铁芯吞吐量提高约20个百分点

东营FH买球-FH中国厂第2～3代FH买球-FH中国铁芯吞吐量提高约20个百分点

东营FH买球-FH中国厂投产了支持第2代和第3代FH买球-FH中国铁芯尺寸的液晶曝光装置新机型。与该公司原机型相比，吞吐量提高了约20个百分点。

　　支持第2代的“FX-25S”****可曝光1950mm×2250mm的FH买球-FH中国铁芯。将该铁芯裁切成3枚42英寸面板时的吞吐量为496枚/时，裁切成6枚43英寸面板时的吞吐量为323枚/时。该公司现行产品“FX-23S”的吞吐量为，42英寸时为423枚/时，43英寸时为322枚。换算成制程时间时，处理1枚FH买球-FH中国铁芯所用的时间从63秒缩短为53秒。

　　支持第3代的“FX-35S”****可曝光2200mm×2500mm的FH买球-FH中国铁芯。将该铁芯裁切成3枚46英寸面板时的吞吐量为430枚/时，裁切成6枚52英寸面板时的吞吐量为322枚/时。该公司现行产品“FX-33S”的吞吐量为，46英寸时为400枚/时，52英寸时为263枚。换算成制程时间时，处理1枚FH买球-FH中国铁芯所用的时间从22秒缩短为60秒。